常见的高纯气体有很多，以下是一些在工业和科研等领域中较为常用的：

高纯单质气体

高纯氢气：纯度一般可达 99.999% 以上，常作为还原气用于半导体制造中的硅片清洗、金属材料的热处理等过程，也是燃料电池的重要燃料。

高纯氧气：纯度通常能达到 99.99% 及以上，在医疗领域用于急救、辅助呼吸等，在冶金行业用于钢铁等金属的冶炼，以提高生产效率和产品质量。

高纯氮气：纯度可高达 99.999%，在化工、电子等行业作为保护气，防止产品氧化或与其他物质发生反应，也用于食品包装的填充气，延长食品保质期。

高纯氩气：纯度一般在 99.99% 以上，广泛应用于焊接领域作为保护气，能有效防止焊接过程中金属被氧化，在半导体制造的等离子体蚀刻等工艺中也有应用。

高纯氦气：纯度可达到 99.999% 等，因其低密度和化学稳定性，常用于航空航天领域的飞行器轮胎充气、卫星发射等，还用于磁共振成像（MRI）设备等。

高纯化合物气体

高纯氨气：纯度能达到 99.99% 以上，在半导体工业中是重要的氮源，用于氮化硅等薄膜的沉积工艺，在化工领域用于生产各种含氮化合物。

高纯二氧化碳：纯度一般在 99.99% 左右，在食品饮料行业用于碳酸饮料的生产，在焊接领域作为保护气，也用于气体保护焊等工艺。

高纯一氧化碳：纯度可达到 99.99%，在化工合成中是重要的原料，用于生产甲醇、醋酸等有机化合物，在冶金行业可用于金属的还原。

高纯硫化氢：纯度通常在 99.9% 以上，在一些化工生产中用于制备硫化物，在科研领域可用于研究某些化学反应和材料的硫化处理。

高纯氯化氢：纯度一般能达到 99.99%，在半导体行业用于硅片的蚀刻和清洗工艺，在化工领域用于生产各种氯化物。

高纯卤化物气体

高纯六氟化硫：纯度可达 99.99%，具有良好的绝缘性能和灭弧性能，广泛应用于电力行业的高压开关、变压器等设备中，也用于半导体制造中的蚀刻工艺。

高纯四氟化碳：纯度一般在 99.99% 以上，是一种重要的蚀刻气体，在半导体制造的光刻、蚀刻等工艺中用于去除硅片表面的多余材料。

高纯三氟化硼：纯度可达到 99.99%，在半导体行业作为掺杂剂，用于调整半导体材料的电学性能，也在有机合成等领域有重要应用。

高纯有机气体

高纯甲烷：纯度通常在 99.99% 以上，是天然气的主要成分，除作为燃料外，在化工领域可用于生产合成气、乙炔等化工产品，在科研中可作为标准气体。

高纯乙烯：纯度一般能达到 99.99%，是重要的化工原料，用于生产聚乙烯、聚氯乙烯等各种塑料和橡胶制品，也用于植物生长调节剂等的合成。

高纯乙炔：纯度可达到 99.9% 以上，主要用于金属的焊接和切割，在化工领域是合成许多有机化合物的重要原料，如用于生产氯乙烯、醋酸乙烯等。